无时间延迟的连续式真空制程设备
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种连续式的真空制程设备。此类设备可广泛应用于任何需要于真空下进行加工及/或检测工作的制程,例如光学或电子产品的蒸镀或溅镀制程。一种无时间延迟的连续式真空制程设备,其具有前后真空过渡室、前后初级真空室、真空制程室、工件传动装置、真空抽气装置、密封移动门装置以及一控制装置其用于控制该工件传动装置输送工件的速度及该密封移动门装置的开启及关闭,使得工件为该工件传动装置连续的输送通过该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室,及使所述密封移动门装置在工件到达时被开启及工件通过后被关闭。

基本信息
专利标题 :
无时间延迟的连续式真空制程设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620138501.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-09-11
授权号 :
CN200992571Y
授权日 :
2007-12-19
发明人 :
刘启志陈在朴黄光昭杨维钧吕仲麟陈博裕聂亨芸杨正旭
申请人 :
柏腾科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾台北县莺歌镇莺桃路67巷18号
代理机构 :
上海智信专利代理有限公司
代理人 :
李柏
优先权 :
CN200620138501.7
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22  C23C14/24  C23C14/34  C23C14/54  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2016-11-02 :
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101685479449
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL2006201385017
申请日 : 20060911
授权公告日 : 20071219
终止日期 : 无
2010-09-29 :
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101007936083
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利申请号 : 2006201385017
专利号 : ZL2006201385017
合同备案号 : 2010990000609
让与人 : 柏腾科技股份有限公司
受让人 : 上海承哲光电科技有限公司
实用新型名称 : 无时间延迟的连续式真空制程设备
申请日 : 20060911
授权公告日 : 20071219
许可种类 : 独占许可
备案日期 : 20100806
2007-12-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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