一种多工位式连续式真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种多工位式连续式真空镀膜设备，包括镀膜箱，所述镀膜箱的底部设置有支架，所述镀膜箱的右侧和背面均设置有第一过渡箱，并且镀膜箱的左侧和正面均设置有第二过渡箱，所述第一过渡箱和第二过渡箱的两侧均为贯通结构，并且第一过渡箱的左侧和第二过渡箱的右侧均与镀膜箱相连通，本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域。该多工位式连续式真空镀膜设备，通过镀膜箱的右侧和背面均设置有第一过渡箱，镀膜箱的左侧和正面均设置有第二过渡箱，第一过渡箱和第二过渡箱的两侧均为贯通结构，第一过渡箱的左侧和第二过渡箱的右侧均与镀膜箱相连通，实现多工位可连续式镀膜加工，换料间隔停顿时间少，大大提高加工效率。
基本信息
专利标题 ：
一种多工位式连续式真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921473506.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-06
授权号 ：
CN210886215U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
常江常满陈国奇汪洋
申请人 ：
成都市江泰真空镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市武侯区高新区永丰路22号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921473506.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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