本发明提供一种小型磁传感器，其在一块半导体基板上配置多个巨大磁阻元件来检测三轴方向的磁场强度。在半导体基板上形成厚膜，在其平坦面上设置构成X轴传感器和Y轴传感器的巨大磁阻元件，另一方面，利用在厚膜上形成的多个槽的斜面来形成构成Z轴传感器的巨大磁阻元件。至于槽的形成，可以采用反应性离子蚀刻或高密度等离子CVD法。且也可以在厚膜与钝化膜之间形成绝缘膜，把它作为阻蚀层利用。也可以把各槽的斜面由第一斜面和第二斜面构成，把感磁部形成在倾斜角大的第二斜面上。为了使各槽的斜面形状和倾斜正确化，也可以形成与巨大磁阻元件的形成没有直接关系的虚拟斜面。