传感器和制造传感器的方法
实质审查的生效
摘要
在至少一个实施俯视中，传感器包括具有用于在通过介质施加压力时变形的膜（10）的变形体（1）以及施加到所述膜（10）上并且固定在所述膜（10）上的膨胀元件（2）。所述膨胀元件（2）基于SOI技术并且具有多个压阻电阻器（20）。
基本信息
专利标题 ：
传感器和制造传感器的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114286929A
申请号 ：
CN202180005110.5
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
B·米尔克A·佩施卡
申请人 ：
TDK电子股份有限公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
姬亚东
优先权 ：
CN202180005110.5
主分类号 ：
G01L7/08
IPC分类号 ：
G01L7/08 G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L7/00
用机械的或流体的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力
G01L7/02
弹性形变量计式的
G01L7/08
可挠膜片式的
法律状态
2022-04-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 7/08
申请日 : 20210121
申请日 : 20210121
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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