含有有机微粒的感光性组合物
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

本发明的目的在于提供一种感光性组合物,其光散射损失低、可以持久形成衍射效率高的全息图,以及提供图案的形成方法。本发明通过提供下述感光性组合物以及使用了该组合物的图案形成方法而解决了上述课题,所述感光性组合物的特征在于,在用于通过图案曝光来形成图案的感光性组合物中,含有(a)聚合性化合物、(b)光聚合引发剂、和(c)有机微粒。

基本信息
专利标题 :
含有有机微粒的感光性组合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101142527A
申请号 :
CN200680008731.4
公开(公告)日 :
2008-03-12
申请日 :
2006-03-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
富田康生古岛康志穐本和彦近间克己日高基彦大土井启祐
申请人 :
国立大学法人电气通信大学;日产化学工业株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京市中咨律师事务所
代理人 :
段承恩
优先权 :
CN200680008731.4
主分类号 :
G03F7/004
IPC分类号 :
G03F7/004  G03F7/027  G03H1/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2011-03-23 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101076734418
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利申请号 : 2006800087314
公开日 : 20080312
2008-05-14 :
实质审查的生效
2008-03-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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