含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物
实质审查的生效
摘要
含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物包含:具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体、包括碳‑碳不饱和基团的光反应性化合物、O‑酰基肟系光引发剂及溶剂,化学式1化学式1中,R2为衍生自用化学式2表示的芳香族二胺的四价的有机基团,R1为衍生自用化学式3表示的芳香族二酐的六价的有机基团,R3、R4、R5及R6分别为氢,R7及R8为氢或至少一个为以下述化学式4或化学式5表示的环氧丙烯酸酯取代基,所述取代基的取代率为2至50%范围,n表示1至25的整数。
基本信息
专利标题 :
含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114442431A
申请号 :
CN202111604693.1
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄光锋李文武
申请人 :
上海玟昕科技有限公司
申请人地址 :
上海市金山区金流路138号4幢1层
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
延美花
优先权 :
CN202111604693.1
主分类号 :
G03F7/038
IPC分类号 :
G03F7/038
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/038
高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/038
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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