含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物。含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物包含：具有用以下化学式1表示的结构单元的聚合物的聚酰亚胺前驱体(10～40wt％)、重氮萘醌感光剂(10～30wt％)、及溶剂，化学式1
基本信息
专利标题 ：
含有聚酰亚胺前驱体的感光性树脂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114415472A
申请号 ：
CN202111603159.9
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄光锋李文武
申请人 ：
上海玟昕科技有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区金流路138号4幢1层
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
延美花
优先权 ：
CN202111603159.9
主分类号 ：
G03F7/039
IPC分类号 ：
G03F7/039
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/039
可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/039
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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