真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟
专利权的终止
摘要

本实用新型真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟,属于真空镀膜领域中应用的加热器具。它是针对克服化合物蒸发材料在蒸发前、后的化学元素配比发生变化而改制的。该加热蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片,加热片的中间部分均匀分布小孔,第二部分是带有挂槽的挂盒,在挂盒内部配备有耐高温导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”,用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。本实用新型的优点就是结构简单、使用方便。能够较好地解决化合物蒸发材料其化学配比在蒸发后和蒸发前存在差别大的问题,使原化合物蒸发材料在蒸发成膜后达到预期的效果。

基本信息
专利标题 :
真空镀膜领域中使用的加热蒸发舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720094316.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-07
授权号 :
CN201132847Y
授权日 :
2008-10-15
发明人 :
李志明缪国庆
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 :
130012吉林省长春市东南湖大路16号
代理机构 :
长春菁华专利商标代理事务所
代理人 :
赵炳仁
优先权 :
CN200720094316.7
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2011-11-23 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101137114085
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利号 : ZL2007200943167
申请日 : 20070907
授权公告日 : 20081015
终止日期 : 20100907
2008-10-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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