减薄抛光用的精密磨抛头机械装置
专利权的终止
摘要

一种减薄抛光用的精密磨抛头机械装置,其特征在于,包括:一外套,该外套包括:一上层环体;一下层环体,该上层环体和下层环体之间由多个连接杆固定连接;一中层,该中层为圆形片体,该中层位于上层环体的下方、固定在多个连接杆的内侧,该中层中间的位置安装有一限位器;一内套,该内套包括:一上连接件,该上连接件为一圆盘型;一底座,该底座为一圆盘型,该底座的中心处开有一孔,该底座和上连接件之间由多个连接柱固定连接;该内套位于外套的内部,并与外套联动;一载物片,该载物片为一片体,该载物片位于内套中的底座的下方,并与内套中的底座联动。

基本信息
专利标题 :
减薄抛光用的精密磨抛头机械装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720103934.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-03-23
授权号 :
CN201009162Y
授权日 :
2008-01-23
发明人 :
刘素平马骁宇王俊李伟
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
100083北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
汤保平
优先权 :
CN200720103934.3
主分类号 :
B24B41/047
IPC分类号 :
B24B41/047  B24B29/02  H01L21/304  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件,比如机架,床身,滑板,床头箱的
B24B41/04
床头箱;工作主轴;其有关特征
B24B41/047
用于加工平面的磨头
法律状态
2010-08-04 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101004378690
IPC(主分类) : B24B 41/047
专利号 : ZL2007201039343
申请日 : 20070323
授权公告日 : 20080123
2008-01-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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