一种基片托盘的抬料装置，在基片托盘四周垂设多个链条，能进行纵向及横向往复位移，且链条的链目上设一沟部，以植入一杆件的一凸柱，该杆件设于一托件的一容置孔内，凸柱裸露于一与容置孔相通的行程孔外，各链条旁侧各自滑设一第三驱动器，具一能挺伸及复归的推杆，于挺伸时推触杆件带动凸柱位移至脱离沟部且植入容置孔内，以连接托件于第三驱动器上，同时第三驱动器能进行纵向往复位移；据此，各链条带动各托件移至托盘下方，并上移抬举托盘，各第三驱动器逐一驱动相等高度的各托件脱离链条，并移载托盘至可供基片移出的高度。