一种用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置

专利权的终止

摘要

一种用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置，它包括：阀门组；氮气供应管路；异丙醇吸附、释放装置；所述的阀门组、及氮气供应管路为并联安装的两条管路及阀门，且在其中一条氮气管路中串接一个文丘里，在文丘里侧壁接一条异丙醇供应管路，在文丘里与干燥槽之间接一异丙醇吸附、释放装置。主要通过文丘里效应将异丙醇从异丙醇容器中吸出，然后通过异丙醇吸附、释放装置后将异丙醇蒸汽与N₂一起送入到干燥槽的静压腔中。本实用新型可以做到异丙醇持续、稳定、适量的供应到干燥槽中，从而保证硅片清洗的效果。

基本信息

专利标题：

一种用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720190356.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-26

授权号：

CN201122584Y

授权日：

2008-09-24

发明人：

阎志瑞库黎明张国栋盛芳毓索思卓葛钟

申请人：

北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司

申请人地址：

100088北京市新街口外大街2号

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司

代理人：

郭佩兰

优先权：

CN200720190356.1

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/02

相关图片

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

法律状态

2017-12-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20071126
授权公告日 : 20080924

2015-07-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717192684
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201903561
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研新材料股份有限公司
变更后权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
登记生效日 : 20150612

2014-06-25 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101702274361
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201903561
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号

2012-03-14 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101295549340
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201903561
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20120121

2008-09-24 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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