用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置

专利权的终止

摘要

用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置，它包括：两条由阀门与管路连接的氮气管路，每条管路的进口端接氮气管道，其出口端接至干燥槽的静压腔，且管路中串接异丙醇吸附、释放装置，该异丙醇吸附、释放装置另一接口通过毛细管与异丙醇容器连接。主要通过毛细管效应将异丙醇从异丙醇容器中吸出，然后通过异丙醇吸附、释放装置后将异丙醇蒸汽与N₂一起送入到干燥槽的静压腔中。本实用新型可以做到IPA持续、稳定、适量的供应到干燥槽中，从而保证硅片清洗的效果。

基本信息

专利标题：

用于硅片异丙醇干燥法中的异丙醇供应装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720190357.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-11-26

授权号：

CN201171925Y

授权日：

2008-12-31

发明人：

阎志瑞库黎明盛芳毓张国栋葛钟索思卓

申请人：

北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司

申请人地址：

100088北京市新街口外大街2号

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司

代理人：

郭佩兰

优先权：

CN200720190357.6

主分类号：

B01D12/00

IPC分类号：

B01D12/00 F26B5/16 B01D53/04

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B01

一般的物理或化学的方法或装置

B01D12/00

用其他的液体取代被置换的液体，例如，从湿的固体或从弥散的液体或从在液体内的固体中置换

法律状态

2017-12-26 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B01D 12/00
申请日 : 20071126
授权公告日 : 20081231

2015-07-01 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101717139691
IPC(主分类) : B01D 12/00
专利号 : ZL2007201903576
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 有研新材料股份有限公司
变更后权利人 : 有研半导体材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
登记生效日 : 20150611

2014-06-25 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101702269348
IPC(主分类) : B01D 12/00
专利号 : ZL2007201903576
变更事项 : 专利权人
变更前 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后 : 有研新材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后 : 100088 北京市新街口外大街2号

2012-03-07 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101292926442
IPC(主分类) : B01D 12/00
专利号 : ZL2007201903576
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 北京有色金属研究总院
变更后权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更后权利人 : 100088 北京市新街口外大街2号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 有研半导体材料股份有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20120118

2008-12-31 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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