一种简易抛光机台

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种简易抛光机台，其具有基座和设置在基座上用于抛光晶粒的抛光台。现有技术中抛光台上并未设置夹持晶粒的夹持模块，而采用人工方式夹持晶粒进行抛光，存在着抛光质量不高和浪费人力的问题。本实用新型的简易抛光机台还具有设置在基座上且用于夹持晶粒以在抛光台上抛光的夹持模块，该夹持模块具有一架设在抛光台上的支架和多个设置在该支架上且用于夹持晶粒的夹持单元。采用本实用新型可提高抛光质量和抛光效率，并大大节约人力。

基本信息

专利标题：

一种简易抛光机台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820057691.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-04-24

授权号：

CN201186404Y

授权日：

2009-01-28

发明人：

龚伟平李仲劼郭军伟许松

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

优先权：

CN200820057691.9

主分类号：

B24B29/00

IPC分类号：

B24B29/00 B24B41/06 H01L21/304

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B29/00

有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置

法律状态

2018-05-18 ：

专利权的终止

专利权有效期届满IPC(主分类) : B24B 29/00
申请日 : 20080424
授权公告日 : 20090128

2013-03-27 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101547397153
IPC(主分类) : B24B 29/00
专利号 : ZL2008200576919
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130226

2009-01-28 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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