本实用新型半导体后道设备基准调整机构，它解决的是现有半导体后道设备调整工作量大，调整麻烦，生产效率低的问题。它采用的技术方案是它包括模块安装板[20]、与之叠压的螺栓固定板[1]及横向偏移装置和纵向偏移装置，横向偏移装置通过丝杆驱动机构和滑槽的配合实现两板的横向偏移，纵向偏移机构两个丝杆驱动机构使两板达到纵向上下偏移。本实用新型只需转动三个内螺母即可达到四个方向位置调整的目的，因此调整工作量小，生产效率高。