基板载台
专利权的终止
摘要
本实用新型提供了一种基板载台，是用以承载一基板。此载台包括一固定机座以及一承载台。承载台设置于固定机座上方，且具有复数个间隔组件可供基板放置于其上，并使得基板与承载台之间具有一间隙。
基本信息
专利标题 ：
基板载台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820135798.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-10
授权号 ：
CN201274285Y
授权日 ：
2009-07-15
发明人 ：
陈仪龙简青俊李智强
申请人 ：
华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司
申请人地址 ：
215217江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路88号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙长龙
优先权 ：
CN200820135798.0
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/683 H01L21/677 G02F1/1333
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2017-11-24 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/00
申请日 : 20081010
授权公告日 : 20090715
终止日期 : 20161010
申请日 : 20081010
授权公告日 : 20090715
终止日期 : 20161010
2009-07-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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