用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统

授权

摘要

本发明提供用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统。还提供各种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法。一种方法包括基于在样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将各个缺陷指派到缺陷组。所述方法还包括向用户显示关于所述缺陷组的信息。此外，所述方法包括允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。还提供了被配置来分类样品上的缺陷的系统。一种系统包括在处理器上可执行的程序指令，所述程序指令用于基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺陷组。所述系统还包括用户界面，所述用户界面被配置来向用户显示关于所述缺陷组的信息，并且允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。

基本信息

专利标题：

用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN103439346A

申请号：

CN201310298855.2

公开（公告）日：

2013-12-11

申请日：

2005-10-12

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

C·H·德托马索·托雷利多米尼克·戴维C·杨迈克尔·戈登·斯科特拉里塔·A·巴拉苏布若门尼L·高T·黄J·张米哈尔·科瓦斯基乔纳森·奥克利

申请人：

恪纳腾技术公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

代理机构：

北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

严慎

优先权：

CN201310298855.2

主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/95 G06T7/00