一种水平电化学沉积金属的方法
授权
摘要
本发明公开了一种在薄片基板上实施电化学沉积金属的方法。本发明所公开的在薄片基板上实施电化学沉积金属的方法是把电化学沉积金属工艺中的金属阳极置于电化学沉积金属工艺中的电解质溶液液位上方，电化学沉积金属工艺中电解质溶液在接触金属阳极后自上而下的流到薄片基板的上表面。上金属阳极在正电势的作用下发生氧化反应，失去电子生成金属离子后随电解质溶液流下到薄片基板的上表面。电解质溶液中的金属离子在薄片基板上的阴极获得电子，生成金属并沉积在薄片基板的阴极表面。
基本信息
专利标题 ：
一种水平电化学沉积金属的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN105590987A
申请号 ：
CN201410557444.5
公开（公告）日 ：
2016-05-18
申请日 ：
2014-10-20
授权号 ：
CN105590987B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
季静佳覃榆森朱凡
申请人 ：
苏州易益新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中经济开发区越溪街道吴中大道1368号A幢602室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201410557444.5
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 C25D5/08 C25D7/12
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2018-02-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20141020
申请日 : 20141020
2016-05-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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