覆盖量测方法
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摘要
一种覆盖量测方法，包括：利用多彩光束照亮覆盖目标；搜集与由多彩光束通过覆盖目标而产生的衍射光谱有关的强度信息，其中衍射光谱将多彩光束分离为多个衍射光束，衍射光束的每一者分别对应至多彩光束的一波长；以及根据与衍射光谱有关的强度信息产生覆盖信息，覆盖信息包括因不对称性而产生的覆盖误差。
基本信息
专利标题 ：
覆盖量测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108226760A
申请号 ：
CN201711066881.7
公开（公告）日 ：
2018-06-29
申请日 ：
2017-10-20
授权号 ：
CN108226760B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
吴锴谢鸿志陈开雄柯志明陈彦良
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
李昕巍
优先权 ：
CN201711066881.7
主分类号 ：
G01R31/311
IPC分类号 ：
G01R31/311
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
G01R31/08
探测电缆、传输线或网络中的故障
G01R31/14
所用的电路
G01R31/308
使用非电离电磁辐射，如光辐射
G01R31/311
集成电路的
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-01-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/311
申请日 : 20171020
申请日 : 20171020
2018-06-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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