取样量测方法及设备
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种取样量测方法及设备。该方法包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定生产单元对应制程的稳定性指标；根据生产单元对应制程的稳定性指标，对生产单元对应制程的取样比例进行调整，并将调整后的取样比例作为最新取样比例。从而，在保证制程稳定性的基础上，实现了量测机台的最优测量分配。
基本信息
专利标题 ：
取样量测方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388382A
申请号 ：
CN202210062516.3
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱贺
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈启天
优先权 ：
CN202210062516.3
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 G01N1/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/66
申请日 : 20220119
申请日 : 20220119
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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