可复位样品桩和样品复位方法

授权

摘要

本发明公开了一种样品复位方法，用于扫描电镜分析，包括以下步骤：将样品和两个定位柱固定在样品桩的台面上；记录所观察分析的样品微区的坐标以及两个定位柱顶面中心标记点的坐标；再次对样品进行观察分析时，获得两个定位柱顶面中心标记点的新坐标；获取所观察分析的样品微区的新坐标；根据所观察分析的样品微区的新坐标，扫描电镜复位至所观察分析的样品微区。本发明提供的样品复位方法可以快速准确的将样品复位到原来的观察视野，满足某些实验条件下的重复观察需要。

基本信息

专利标题：

可复位样品桩和样品复位方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110534389A

申请号：

CN201810512734.6

公开（公告）日：

2019-12-03

申请日：

2018-05-25

授权号：

CN110534389B

授权日：

2022-05-20

发明人：

张文涛鲍芳张庆珍刘伟新俞凌杰李志明

申请人：

中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油勘探开发研究院

申请人地址：

北京市朝阳区朝阳门北大街22号

代理机构：

北京聿宏知识产权代理有限公司

代理人：

吴大建

优先权：

CN201810512734.6

主分类号：

H01J37/20

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/26