一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统

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摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统，步骤一，由相似时段的能耗历史数据构建成训练样本和测试样本，步骤二，建立LS‑SVM算法的目标函数；步骤三，训练出能耗预测模型；步骤四，进行还原过程能耗预测。基于D‑S融合LS‑SVM算法即综合了D‑S和LS‑SVM的优点又避免了二者的一些不足。一方面，用选出的相似时段能耗数据作为LS‑SVM的训练样本，克服了LS‑SVM算法的噪音干扰。另一方面，利用LS‑SVM的原理，可以很好的实现复杂的映射，获得能耗曲线的规律。

基本信息

专利标题：

一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108563913A

申请号：

CN201810529750.6

公开（公告）日：

2018-09-21

申请日：

2018-05-29

授权号：

CN108563913B

授权日：

2022-04-12

发明人：

杨海东肖云朱成就

申请人：

广东工业大学

申请人地址：

广东省广州市越秀区东风东路729号

代理机构：

佛山市禾才知识产权代理有限公司

代理人：

梁永健

优先权：

CN201810529750.6

主分类号：

G06F17/50

IPC分类号：

G06F17/50 G06K9/62 G06Q10/04

法律状态

2022-04-12 ：

授权

2018-10-23 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : G06F 17/50
申请日 : 20180529

2018-09-21 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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