一种用于计算光刻的集成神经网络

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摘要

本发明公开了一种用于计算光刻的集成神经网络，包括共轭神经网络和前向神经网络，且所述共轭神经网络的输出端连接所述前向神经网络的输入端；所述共轭神经网络用于提取计算光刻的特征矢量，并将提取出来的特征矢量输入所述前向神经网络中，其中，所述共轭神经网络提取计算光刻的特征矢量的方法为：Yj＝∑iWijXi，Zj＝Yj·Yj*；其中，Zj为提取出来的特征矢量，Wij为所述共轭神经网络的参数，Xi为光罩上第i个点的邻近环境，Yj*为Yj的共轭。本发明中提供的一种用于计算光刻的集成神经网络，将用于提取特征矢量的共轭卷积神经网络结构和前向神经网络结合起来，形成集成神经网络，可以用于任何类型的计算光刻学习。

基本信息

专利标题：

一种用于计算光刻的集成神经网络

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN108665060A

申请号：

CN201810600924.3

公开（公告）日：

2018-10-16

申请日：

2018-06-12

授权号：

CN108665060B

授权日：

2022-04-01

发明人：

时雪龙赵宇航陈寿面李铭

申请人：

上海集成电路研发中心有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区张江高斯路497号

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

吴世华

优先权：

CN201810600924.3

主分类号：

G06N3/04

IPC分类号：

G06N3/04 G03F7/20