本发明公开了一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜组，它包括：第一亚波长阵列结构、透明基板、第二亚波长阵列结构；所述的第一亚波长阵列结构与第二亚波长阵列结构设置在透明基板的相对两侧；两个亚波长阵列结构由多个单元结构阵列形成；单元结构长和宽均小于工作波长；亚波长阵列结构会聚光线。一个超透镜组，还包括两个超透镜，分别为第一超透镜与第二超透镜；第一超透镜和第二超透镜均为亚波长阵列结构；第一超透镜与第二超透镜集成在同一透明基板两侧；第一超透镜与第二超透镜的直径比设计为4:1；实现了具有缩束功能的集成紫外全介质超透镜组，超透镜组减少了紫外系统的镜片数量，透过率高、能量损失小，加工工艺较简单。