一种集成电路制备用光刻机
专利权的终止
摘要
本实用新型属于光刻机技术领域,尤其是一种集成电路制备用光刻机,包括箱体,所述箱体的一端内底壁固定安装有光刻机,所述所述箱体的内侧壁通过轴承分别固定安装有第一转轴、第二转轴和第三转轴,所述第一转轴的表面固定套接有传送装置。该集成电路制备用光刻机,达到了对集成电路板进行光刻前的烘干,槽轮机构中的槽轮对光电对射开关射线进行间歇性遮挡,遮挡时,第三电机通过齿轮与齿条啮合带动烘干机向上滑动并通过限位开关限位,离开集成电路板,方便集成电路板传送光刻,当光电对射开关又重新射线照射到一起时,第三电机自动控制烘干机下滑烘干,从而解决了现有的集成电路板在恒湿车间运输过程中会沾上湿度的技术问题。
基本信息
专利标题 :
一种集成电路制备用光刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920439307.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-02
授权号 :
CN210402008U
授权日 :
2020-04-24
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
陈广焕
申请人地址 :
广东省肇庆市封开县渔涝镇石便村委会信堂村11号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920439307.X
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 G03F7/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-03-15 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190402
授权公告日 : 20200424
终止日期 : 20210402
申请日 : 20190402
授权公告日 : 20200424
终止日期 : 20210402
2020-06-09 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G03F 7/20
登记生效日 : 20200520
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 陈广焕
变更后权利人 : 河北尚鹏电力设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 526500 广东省肇庆市封开县渔涝镇石便村委会信堂村11号
变更后权利人 : 050000 河北省石家庄市高新区珠峰大街111号华山商务南门735室
登记生效日 : 20200520
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 陈广焕
变更后权利人 : 河北尚鹏电力设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 526500 广东省肇庆市封开县渔涝镇石便村委会信堂村11号
变更后权利人 : 050000 河北省石家庄市高新区珠峰大街111号华山商务南门735室
2020-04-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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