一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平台
授权
摘要
本发明公开了一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平台,包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链和固定平台;每个所述驱动系统包括压电陶瓷、连接块、杠杆、预紧弹簧、推杆和多个连接铰链;所述压电陶瓷一端固定在所述固定平台上,另一端与所述连接块相连;所述杠杆连接在所述连接块和所述预紧弹簧之间,所述连接块通过其中一个所述连接铰链与所述杠杆相连,所述预紧弹簧一端固定在所述固定平台上,另一端与所述杠杆相连,所述杠杆通过其中另一个所述连接铰链与所述固定平台相连;所述推杆通过设置在所述推杆两端的两个所述连接铰链分别与所述杠杆和所述运动平台相连;运动平台通过并联铰链与固定平台相连。
基本信息
专利标题 :
一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110364221A
申请号 :
CN201811430442.4
公开(公告)日 :
2019-10-22
申请日 :
2018-11-27
授权号 :
CN110364221B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
须颖贾静王慧锋
申请人 :
广东工业大学;三英精控(天津)仪器设备有限公司
申请人地址 :
广东省广州市番禺区外环西路100号
代理机构 :
深圳市尔逊专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周盈如
优先权 :
CN201811430442.4
主分类号 :
G12B5/00
IPC分类号 :
G12B5/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G12
仪器的结构零部件,或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B
仪器的零部件,或未列入其他类目的其他设备的类似零部件
G12B5/00
仪器或其他设备或其部件的位置或状态的调整,例如,水平调整;倾斜或加速影响的补偿,例如,用于光学仪器的
法律状态
2022-04-01 :
授权
2019-11-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G12B 5/00
申请日 : 20181127
申请日 : 20181127
2019-10-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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