基板翻转装置
授权
摘要
技术问题：提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转的基板翻转装置。解决方案：基板翻转装置(1)具备能够吸附基板的一对吸附部(100)、以及驱动一对吸附部(100)的驱动部(200)。其特征在于，驱动部(200)在第一位置与第二位置之间驱动一对吸附部(100)，所述第一位置是一对吸附部(100)以在其与基板(F)的载置面(2c及2d)之间能够交接基板(F)的方式与载置面(2c及2d)相对的位置，所述第二位置是一对吸附部(100)以在垂直于载置面(2c及2d)的状态下能够交接基板(F)的方式彼此相对的位置。
基本信息
专利标题 ：
基板翻转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110015557A
申请号 ：
CN201811610652.1
公开（公告）日 ：
2019-07-16
申请日 ：
2018-12-27
授权号 ：
CN110015557B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
西尾仁孝高松生芳上野勉
申请人 ：
三星钻石工业股份有限公司
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晶
优先权 ：
CN201811610652.1
主分类号 ：
B65G47/248
IPC分类号 ：
B65G47/248
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/22
在用输送机输送过程中影响物件相对位置或状态的装置
B65G47/24
将物件定向
B65G47/248
将物体倾覆或翻转
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-11-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 47/248
申请日 : 20181227
申请日 : 20181227
2019-07-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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