拼接产品的测试光罩及其组合方法

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摘要

本发明公开了一种拼接产品的测试光罩，测试光罩由多个单元图形组成，各单元图形能形成组合结构，组合结构和拼接产品的产品光罩相对应，产品光罩由多个拼接图形组成；在各单元图形中设置有套准精度图形，在组合结构中，各单元图形中的套准精度图形位于产品光罩中的各拼接图形之间的切割位置处并用于对产品光罩进行套准精度检测。本发明公开了一种拼接产品的测试光罩的组合方法。本发明能实现多种拼接产品共用一套测试光罩，从而能降低测试光罩的制作周期和成本。

基本信息

专利标题：

拼接产品的测试光罩及其组合方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109541884A

申请号：

CN201811630468.3

公开（公告）日：

2019-03-29

申请日：

2018-12-29

授权号：

CN109541884B

授权日：

2022-06-14

发明人：

朱晓斌蔡亮

申请人：

上海华力微电子有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区自由贸易试验区高斯路568号

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

郭四华

优先权：

CN201811630468.3

主分类号：

G03F1/44

IPC分类号：

G03F1/44 G03F7/20