一种提高ITO靶材坯体强度的方法
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摘要
本发明公开了一种提高ITO靶材坯体强度的方法，其特征在于，在向石膏模中浇注ITO浆料前，首先配置保护液，然后将保护液涂覆于石膏模型腔表面，然后再浇注ITO浆料，在ITO浆料浇注完成后，在石膏模中裸露的ITO浆料表面喷洒保护液，成型后脱模即可得到表面裹附有固化保护膜的ITO浆料坯体。本发明的应用，可在ITO靶材坯体表面形成固化保护膜，从而对ITO靶材坯体起固定作用，大大提高了坯体的强度，避免了ITO靶材坯体生产过程中出现开裂等问题的出现，提高了转移成品率。
基本信息
专利标题 ：
一种提高ITO靶材坯体强度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111593304A
申请号 ：
CN201910125113.7
公开（公告）日 ：
2020-08-28
申请日 ：
2019-02-20
授权号 ：
CN111593304B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
王雪涛宋蕊立李玉新
申请人 ：
河北惟新科技有限公司
申请人地址 ：
河北省石家庄市高新区长江大道238号宏昌科技园7号楼一层102、106、107室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201910125113.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-09-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20190220
申请日 : 20190220
2020-08-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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