一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法
授权
摘要
本发明提供一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法，其中，探针卡包括：电路板，所述电路板具有一孔洞，具有导电图案；图像接收组件，设置于所述电路板的第一面；探针组件，设置于所述电路板的第二面；光学整形元件，设置于所述图像接收组件的一侧；通过探针卡的探针组件电接触晶圆上的光源芯片实现对光源芯片的电导通，通过图像接组件以及光学整形元件可以实现对光源芯片的光学性能检测，本发明可以在晶圆级上实现光源芯片的检测以及质量筛选，且可以同时实现对光源芯片进行光学性能检测以及电学性能检测，提高了检测效率降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种探针卡、检测装置以及晶圆检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110261755A
申请号 ：
CN201910449250.6
公开（公告）日 ：
2019-09-20
申请日 ：
2019-05-28
授权号 ：
CN110261755B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
张成梁栋饶志龙刘嵩
申请人 ：
常州纵慧芯光半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
尹丽云
优先权 ：
CN201910449250.6
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/04 G01M11/02 G01J1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2019-10-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20190528
申请日 : 20190528
2019-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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