一种探针的检测方法及检测装置
公开
摘要
本公开提供了一种探针的检测方法及检测装置，涉及半导体技术领域，探针的检测方法包括：提供晶圆，晶圆设置有至少一个探针检测卡；通过探针检测卡与任意两个待测探针构成串联电路进行检测，获取串联电路的检测参数；根据检测参数与串联电路的预设参数，确定待测探针的状态。相比传统方法中在单独的测试机台上放置校准片，再进行检测的检测过程，本公开中的检测方法和检测装置不仅提高了测试效率，还提升了测试准确性，降低了检测成本。
基本信息
专利标题 ：
一种探针的检测方法及检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609569A
申请号 ：
CN202210277547.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钱仕兵
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京名华博信知识产权代理有限公司
代理人 ：
鲁盛楠
优先权 ：
CN202210277547.0
主分类号 ：
G01R35/00
IPC分类号 ：
G01R35/00 G01R1/067 G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R35/00
包含在本小类其他组中的仪器的测试或校准
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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