工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备
授权
摘要
本发明公开了工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备。工作台交换机构控制方法所控制的工作台交换机构包括第一承载件、第二承载件、第一工作台及第二工作台，工作台交换机构控制方法包括以下步骤：承载件预设初始位置驱动或保持步骤、工作台上升驱动步骤、承载件工位互换步骤、工作台下降驱动步骤和承载件工位再互换步骤，本发明的工作台交换机构控制方法具有较高的自动化程度和工作效率，并且，采用工作台交换机构控制方法的质谱检漏设备具有较高的自动化程度和检测效率。
基本信息
专利标题 ：
工作台交换机构控制方法及质谱检漏设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111623934A
申请号 ：
CN201910711611.X
公开（公告）日 ：
2020-09-04
申请日 ：
2019-08-02
授权号 ：
CN111623934B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
龙超祥
申请人 ：
深圳市远望工业自动化设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区宝安大道6099号星港同创汇天璇座406
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
孙大勇
优先权 ：
CN201910711611.X
主分类号 ：
G01M3/20
IPC分类号 ：
G01M3/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-09-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 3/20
申请日 : 20190802
申请日 : 20190802
2020-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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