用于镀膜设备的气流导散装置及其应用
授权
摘要

本发明提供一种用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用,其中所述镀膜设备具有一腔室和至少一支架,其中所述支架被安装于所述腔室,其中所述支架用于支撑至少一基材,其中所述气流导散装置用于在被充入该腔室的气体与该支架之间的位置进行气体引导作用,其中所述气流导散装置包括至少一阻挡部和至少一导散部;其中所述阻挡部与所述导散部相连接,其中所述阻挡部具有一阻挡面,其中所述导散部具有与所述阻挡面相连接的一导散面和位于所述导散面的一组通孔,以供部分气体沿所述阻挡面的延伸方向扩散,而另一部分气体穿过所述通孔,从而尽可能均匀地在该基材的表面镀膜。

基本信息
专利标题 :
用于镀膜设备的气流导散装置及其应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110684963A
申请号 :
CN201910997644.5
公开(公告)日 :
2020-01-14
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN110684963B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
宗坚兰竹瑶单伟陶永奇
申请人 :
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市玉祁工业园东环路
代理机构 :
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
罗京
优先权 :
CN201910997644.5
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455  C23C16/50  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-05-20 :
授权
2021-03-09 :
著录事项变更
IPC(主分类) : C23C 16/455
变更事项 : 申请人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214183 江苏省无锡市玉祁工业园东环路
变更后 : 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
2020-02-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/455
申请日 : 20191021
2020-01-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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