阀控制装置以及真空阀
授权
摘要
本发明提供一种阀控制装置，其可在切换成反馈控制后，使腔室压力迅速地朝目标压力收敛。阀控制装置(2)包括：设定压力生成部(20)，生成设定压力(Pset1)；以及开度控制部(21)，根据目标压力(Ps)来进行作为第一开度控制的打开控制，在第一开度控制之后，进行根据设定压力(Pset1)与真空腔室的压力(Pr)的差(ε)来实施反馈控制的第二开度控制；设定压力生成部(20)根据以规定的时间常数，从自第一开度控制向第二开度控制的切换时的真空腔室的压力朝目标压力(Ps)收敛的设定压力轨道，生成设定压力(Pset1)。
基本信息
专利标题 ：
阀控制装置以及真空阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111609200A
申请号 ：
CN201911079529.6
公开（公告）日 ：
2020-09-01
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN111609200B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
小崎纯一郎
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛恒
优先权 ：
CN201911079529.6
主分类号 ：
F16K31/04
IPC分类号 ：
F16K31/04 F16K3/06 F16K51/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/02
电力的；磁力的
F16K31/04
使用马达
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-09-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 31/04
申请日 : 20191107
申请日 : 20191107
2020-09-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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