阀控制装置、真空阀以及阀控制方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种阀控制装置、真空阀以及阀控制方法，可确保反馈控制的控制稳定性并且实现响应性提高。阀控制装置(2)包括：存储部(23)，存储反馈增益，所述反馈增益是与依存于阀本体(1)的阀体开度的参数对应地设定；以及调压控制器(21)，基于反馈增益而对阀体开度进行反馈控制，反馈增益是以由阀体驱动系统的主要振动所引起的、调压控制器(21)的振动性频率的灵敏度函数的大小的极大值成为与控制稳定性相关的规定基准值以下的方式设定。
基本信息
专利标题 ：
阀控制装置、真空阀以及阀控制方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114484039A
申请号 ：
CN202011160705.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小崎纯一郎
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛恒
优先权 ：
CN202011160705.1
主分类号 ：
F16K31/04
IPC分类号 ：
F16K31/04 F16K37/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K31/00
操作装置；释放装置
F16K31/02
电力的；磁力的
F16K31/04
使用马达
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 31/04
申请日 : 20201027
申请日 : 20201027
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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