多真空蒸镀装置及其控制方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种多真空蒸镀装置及其控制方法。真空蒸镀装置包括多个蒸发源、适合旋转该多个蒸发源的旋转部件和适合在任何时候遮挡所述多个蒸发源中除了一个以外的其它所有蒸发源的涂镀挡板，所述多个蒸发源中的每一个都包括一个壳体、一个设置在所述壳体内的坩锅、在坩锅内的蒸发材料、一个设置在坩锅外部并适合加热和蒸发所述蒸发材料的加热装置、一个适合阻挡由加热装置产生的热向外传递的冷却装置。

基本信息

专利标题：

多真空蒸镀装置及其控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1854332A

申请号：

CN200610091638.6

公开（公告）日：

2006-11-01

申请日：

2006-03-09

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

李星昊金秀涣黄珉婷

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚

优先权：

CN200610091638.6

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24 C23C14/54

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

法律状态

2010-07-21 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101003372362
IPC(主分类) : C23C 14/24
专利申请号 : 2006100916386
公开日 : 20061101

2009-02-04 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20090109

2006-12-27 ：

实质审查的生效

2006-11-01 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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