遮挡装置以及真空蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型提供能够有效地防止误安装的遮挡装置及具备该遮挡装置的真空蒸镀装置，所述遮挡装置包括：遮挡器单元20、220；以及遮挡器安装部10、210，所述遮挡器安装部安装所述遮挡器单元，其中，在所述遮挡器安装部10、210的顶端面和所述遮挡器单元20、220的基端面中的一方设置有多个第一凹部B1、B21，在另一方设置有能够分别插入到多个所述第一凹部中的多个第一凸部A1、A21，多个所述第一凹部B1、B21与多个所述第一凸部A1、A21构成作为所述遮挡器单元与所述遮挡器安装部的误安装防止部的第一误安装防止凹凸部。
基本信息
专利标题 ：
遮挡装置以及真空蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922325986.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN211595772U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
斋藤哲郎涩谷孝史小川雄太山根彻
申请人 ：
佳能特机株式会社
申请人地址 ：
日本新泻县
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
李双亮
优先权 ：
CN201922325986.0
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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