一种真空蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀装置，包括真空腔体、加热器、衬底工装和驱动机构；其中多个加热器设置在真空腔体内，涂覆有机材料的基板放置在加热器上，加热器被配置为能将基板上的有机材料汽化或升华；衬底工装也置于真空腔体内，且滑动设置在加热器上方，被配置为容置衬底，被汽化或升华的有机材料能沉积到衬底上；驱动机构与衬底工装连接，能驱动衬底工装滑动，以使衬底工装的位置逐一对应各个加热器。本实用新型的多个加热器加热基板上的有机材料，使其汽化或升华成为多层有机薄膜，工作效率更高；驱动机构用于驱动衬底工装滑动，以使衬底工装上的衬底能逐一对应各个加热器，结构简单，操作方便。
基本信息
专利标题 ：
一种真空蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921697874.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-11
授权号 ：
CN210596235U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
武启飞廖良生高永喜朱宏伟
申请人 ：
江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201921697874.1
主分类号 ：
C23C14/12
IPC分类号 ：
C23C14/12 C23C14/24 C23C14/50
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/12
有机材料
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN210596235U.PDF
PDF下载
