一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。
基本信息
专利标题 ：
一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920397817.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN209673843U
授权日 ：
2019-11-22
发明人 ：
江亮钱林茂陈宇山刘进伟邓昌邦
申请人 ：
西南交通大学
申请人地址 ：
四川省成都市金牛区二环路北一段111号
代理机构 ：
成都虹盛汇泉专利代理有限公司
代理人 ：
王伟
优先权 ：
CN201920397817.5
主分类号 ：
G01Q60/38
IPC分类号 ：
G01Q60/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
G01Q60/38
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
法律状态
2019-11-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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