微机电系统MEMS装置
授权
摘要
本公开涉及微机电系统MEMS装置。描述了配置为拒绝正交运动的微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪器)。正交运动例如在陀螺仪的驱动运动即使在没有角运动的情况下耦合到陀螺仪的感测运动时也会出现。在某些情况下，正交运动可能是因为陀螺仪中使用的弹簧具有倾斜侧壁，这可以在陀螺仪的机械结构中赋予扭矩。本文描述的类型的MEMS陀螺仪可以被配置为通过仅使用基本平行于驱动方向定向的弹簧来拒绝正交运动。一种这样的弹簧仅包括与驱动方向平行的梁并且是可选的。这些MEMS陀螺仪可以用于感测滚动和俯仰角速率等。
基本信息
专利标题 ：
微机电系统MEMS装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920450504.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN211012984U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
J·A·格雷戈里C·布莱克莫尔
申请人 ：
美国亚德诺半导体公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
欧阳帆
优先权 ：
CN201920450504.1
主分类号 ：
G01C19/56
IPC分类号 ：
G01C19/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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