本实用新型提供了一种限位保护装置及刻蚀设备，所述限位保护装置包括底座和位于所述底座上的支架；所述支架包括从上到下依次排布的第一部分、第二部分及第三部分。将所述限位保护装置设置于连接所述刻蚀设备的主排管及附属排管的连接机构的底部时，可对主排管起到支撑限位的作用，故可以避免出现主排气管下沉的情况，进一步地，由于所述第一部分和所述第二部分之间活动连接，所述第一部分和所述第二部分之间的距离可调，故可根据实际需求调节整体装置的长度，使所述限位保护装置具有更好的适应性，另外，由于所述第二部分和所述第三部分弹性连接，故使得整体装置弹性受力，在防止主排管下沉的同时，也延长了所述限位保护装置的使用寿命。