一种多晶硅清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开一种多晶硅清洗装置，涉及多晶硅后处理领域。一种多晶硅清洗装置，包括：清洗笼侧挡板一(1)，清洗笼笼体(2)，喷口(3)，高纯水进水管(4)，支撑装置一(5)、多晶硅进料口挡板锁定装置一(6)，多晶硅进料口挡板锁定装置二(7)，管道(8)、阀门(9)、水槽(10)、清洗笼侧挡板二(11)，支撑装置二(12)、传递传动的装置(13)，多晶硅进料口挡板(14)。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920539262.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN210386715U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
阮继政付绪光田野郭磊李力刘逸枫
申请人 ：
江苏中能硅业科技发展有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920539262.3
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/06 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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