一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要用于解决现有的清洗设备清洗效果差的问题。其主要结构为:包括支架平台和清洗机构,所述清洗机构包括竖直设置的内筒体和外筒体,所述内筒体与外筒体之间套设有能上下移动的筒套;所述外筒体的上端边缘设有扣置还原炉钟罩的安放座,安放座与还原炉钟罩之间、外筒体与筒套之间皆设有充气密封环;所述筒套上方设有喷头。本实用新型提供的一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备,其能通过浸泡的方式清洁还原炉钟罩内表面,清洗效果好。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922036727.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-22
授权号 :
CN211386001U
授权日 :
2020-09-01
发明人 :
高志明宗冰高承燕鲍守珍甘易武何乃栋郑连基
申请人 :
亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请人地址 :
青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
代理机构 :
成都华风专利事务所(普通合伙)
代理人 :
陈春华
优先权 :
CN201922036727.6
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02 B08B3/12 B08B3/08 B08B15/04 F26B21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-09-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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