一种多晶硅棒清洗装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多晶硅棒清洗装置，包括由滑轮组成的滑轮组、多晶吊环、酸槽、水槽，多晶吊环通过软绳经滑轮组连接配重块，配重块由气缸驱动可上下移动，由滑轮组、配重块及气缸组成配重系统；在气缸和配重块的作用下，软绳带动多晶吊环上下移动，实现多晶吊环配重助力的加载和卸载；水槽和酸槽相邻并排放置，多晶吊环位于水槽和酸槽交界位置的正上方。使用该多晶硅棒装置清洗多晶硅棒，由于配重抵消了大部分多晶硅棒重量，抬起多晶硅棒之后，多晶硅棒运动类似于单摆运动和自由落体结合的效果，可实现重量在70‑150kg范围内的多晶硅棒料1秒内完成从酸槽进入水槽的过程，可完全避免表面沾污氧化，提高了多晶硅棒料清洗质量。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅棒清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123367219.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216679271U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
尚锐刚王永涛刘建涛李明飞高源聂飞
申请人 ：
有研半导体硅材料股份公司
申请人地址 ：
北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
代理机构 ：
北京北新智诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘秀青
优先权 ：
CN202123367219.X
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/10 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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