一种真空镀膜机的除杂质冷却系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空镀膜机的除杂质冷却系统，包括真空腔体、抽气管道以及真空泵，所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接，所述抽气管道的下端设置有排污管道，排污管道还连接有用于收集污物的存储箱，所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网，使得进入真空泵的气体没有杂质，延长其使用寿命，所述真空腔体内部设置有冷却管道，该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体，冷却管道的两端均连接有蓄液箱，该蓄液箱内部填充有冷却液，能够较好地对真空腔体中的空气，杂质污物以及热离子进行降温，并降低了真空腔体内的温度，防止了温度过高而对产品造成损伤，提高了良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的除杂质冷却系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920576153.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-25
授权号 ：
CN209816271U
授权日 ：
2019-12-20
发明人 ：
郑潜武
申请人 ：
珠海众睿诚科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市高新区唐家湾镇金鼎科技工业园金恒二路16号厂房B栋1楼B区
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
谈杰
优先权 ：
CN201920576153.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2019-12-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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