一种硅片涂铂台
授权
摘要

本实用新型公开了一种硅片涂铂台,包括台架、涂铂装置、磁力搅拌装置和烘干板,台架的中部设有工作台。涂铂装置包括电机和吸盘,电机固定装设于工作台的下表面且穿过工作台与设置于工作台上表面的吸盘驱动连接,且吸盘的中部开设有通气孔通过外接真空机连通,电机通过设置于工作台下方的踏板电连接控制。磁力搅拌装置包括磁力底座、储液杯和转动磁子,工作台上开设有容置槽,磁力座装设于容置槽内。储液杯放置于磁力座上,转动磁子放置于储液杯内,烘干板设置于工作台上。本实用新型通过涂铂装置的电机驱动吸盘匀速转动,将硅片装设于涂铂装置上匀速旋转,人工放置涂刷于硅片表面自动涂抹,能实现硅片表面涂铂均匀性,且提高了涂铂效率。

基本信息
专利标题 :
一种硅片涂铂台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920605567.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-29
授权号 :
CN209866559U
授权日 :
2019-12-31
发明人 :
朱亚文赵强
申请人 :
重庆长捷电子有限公司
申请人地址 :
重庆市石柱土家族自治县下路镇柏树村
代理机构 :
深圳市兴科达知识产权代理有限公司
代理人 :
刘鑫
优先权 :
CN201920605567.X
主分类号 :
B05C17/10
IPC分类号 :
B05C17/10  B05C13/02  B05C11/10  B05C17/00  B05D3/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C17/00
手工工具或使用手持工具的装置,用于把液体或其他流体涂布在表面上,用于对表面涂敷液体或其他流体的铺开,或从表面上部分地除掉液体或其他流体
B05C17/10
手工工具,用于部分地除去、涂敷或再加涂液体或其他流体,如颜料补涂工具
法律状态
2019-12-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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