用于单晶炉的快捷化料机构
授权
摘要
本实用新型公开一种用于单晶炉的快捷化料机构，包括柱形防护罩，所述柱形防护罩的内侧面底部设有坩埚，柱形防护罩的内侧面设有环形吸热管，柱形防护罩的外侧面上端设有定位板，定位板的上表面设有L形定位板，L形定位板的外侧面中部设有矩形油箱，矩形油箱的上表面设有回流泵，L形定位板的外侧面上端连接有环形预热罩，本用于单晶炉的快捷化料机构，结构紧凑，安装方便，使用时占用空间小，可以快速高效的对单晶硅生产原料进行预加热处理，环形预热罩的设置使得原料可以均匀受热，环形吸热管的设置方便了热量的回收，排料电机通过带动下料螺杆均匀旋转，可以实现物料的均匀下料。
基本信息
专利标题 ：
用于单晶炉的快捷化料机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920627321.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-05
授权号 ：
CN210085626U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
魏海宁楼杭炯
申请人 ：
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
华德明
优先权 ：
CN201920627321.2
主分类号 ：
C30B35/00
IPC分类号 ：
C30B35/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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