一种基于单片机控制的半导体生产用温控装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于单片机控制的半导体生产用温控装置,涉及半导体生产领域,包括温控箱体和箱门,箱门的正面右侧中部固定安装有钥匙锁,箱门通过钥匙锁与温控箱体固定连接,箱门的正面中部铰接有防护板,箱门的内侧中部固定安装有单片机,防护板的内侧固定安装有控制触摸屏,箱门靠近控制触摸屏的一侧开设有防护槽,箱门靠近防护槽的顶侧内部开设有调节槽。本实用新型控制触摸屏位于防护槽内,避免控制触摸屏受到损坏,且解决了控制触摸屏长期裸露灰尘粘附导致触摸不灵效果差的问题,在需要使用控制触摸屏时,无需通过钥匙锁打开箱门,解决了控制触摸屏位于温控箱体内部使用不便的问题。
基本信息
专利标题 :
一种基于单片机控制的半导体生产用温控装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920636177.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-06
授权号 :
CN209946717U
授权日 :
2020-01-14
发明人 :
蒋恒深李洪聪米金鹏刘珍高珂珂崔丹
申请人 :
无锡艾里森科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区安镇街道丹山路88号锡东创融大厦C座503室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201920636177.9
主分类号 :
G05D23/00
IPC分类号 :
G05D23/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D23/00
温度的控制
法律状态
2020-01-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载