本实用新型公开了一种半导体生产用温控设备，包括固定箱，所述固定箱的底部固定安装有支撑腿，所述支撑腿的底端固定安装有万向轮，所述万向轮的一侧设有制动片，所述固定箱的顶部安装有轴承，所述固定箱通过轴承转动连接有主轴，所述固定箱内部固定安装有减速电机，且减速电机的输出端与主轴固定连接，所述固定箱的顶面开设有散热通孔。通过使万向轮滚动，从而使得温度传感器便于对环境内不同区域的温度进行监测，通过减速电机带动主轴转动，即可带动无温度传感器转动，使温度传感器在对温度监测时测定温度更加准确，从而达到了便于灵活地对多个区域进行流动监控的效果，实现了便于调整控制环境温度的目标，操作起来更加灵活。