用于半导体生产用温控设备的温控系统

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摘要

本实用新型涉及半导体温控领域，提供用于半导体生产用温控设备的温控系统。温控系统包括循环液箱、加热器、电动三通阀、制冷蒸发器、循环液入口温度传感器、可编程控制器和PID模块；加热器设于循环液箱中并与PID模块连接，PID模块与可编程控制器连接；循环液箱设有循环液出口和循环液入口，循环液出口连接有出液管路，循环液入口连接有进液管路；还包括回液管路，回液管路连接至电动三通阀连接至制冷蒸发器，并连接至制冷蒸发器与循环液入口之间的进液管路上，循环液入口温度传感器设于靠近循环液入口处的进液管路上；循环液入口温度传感器与PID模块连接。本实用新型能够实时连续精确调节流量，实现精确控制温控设备的循环液出口温度。

基本信息

专利标题：

用于半导体生产用温控设备的温控系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922284070.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-18

授权号：

CN210776340U

授权日：

2020-06-16

发明人：

宋朝阳芮守祯何茂栋曹小康冯涛常鑫董春辉李文博耿海东

申请人：

北京京仪自动化装备技术有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

谭云

优先权：

CN201922284070.5

主分类号：

G05D23/19

IPC分类号：

G05D23/19