本实用新型公开了一种应用于聚酰亚胺成膜固化工艺的洁净控氧烘箱，包括箱体、内部送风循环系统、洁净过滤系统和微氧检测器，箱体合围成用于容纳待烘烤物的工作室腔体，箱体上还开设有进气口和出气口，进气口、工作室腔体和出气口依次连通；其中进气口与氮气系统连通，出气口与排气系统连通，出气口安装有微调门阀；内部送风循环系统固定安装在箱体内，且部分穿过工作室腔体；内部送风循环系统与洁净过滤系统连通；内部送风循环系统上还设有用于检测氧气含量的微氧检测器。氮气从氮气存储设备经过进气口进入到空气调节通道内，并依次通过加热装置、风机、洁净过滤系统、工作室腔体，从出气口排出，可以提供350℃以上的超净环境和ppm以下级氧浓度的实时监控。